方案能够得到预期的结果。
3 结 语
MEMS传感器通过梁膜的结构运用压阻的方式实现外界对传感器的响应变化。通过在风洞实验中有风无风交替对MEMS传感器和剪切流传感器作用的实验和不同风速下对MEMS传感器作用的实验，很好地验证了传感器的性能，并且在恒流速水槽中进行水下实验，验证MEMS传感器的水下性能。通过以上实验证明了MEMS传感器具有良好的基本性能。
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